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DHRP-1 電感耦合射頻等離子體裝置

裝置將 13.560MHz 射頻源加至反應(yīng)室外的電感線圈 , 用電感耦合方式激勵(lì)氣體 , 使其放電產(chǎn)生等離子體 . 這種方式具有放電效率高、無電極放電污染的特點(diǎn) , 并可以獲得純凈的等離子體 . 裝置適合大學(xué)物理、材料、化學(xué)等領(lǐng)域科學(xué)研究之用。

實(shí)驗(yàn)內(nèi)容

1、等離子體消毒滅菌實(shí)驗(yàn) , 如大腸桿菌 (8099)、金黃色葡萄球菌 (ATCC6538);

2、等離子體材料表面改性實(shí)驗(yàn) , 如紙張親水性、紙張接觸角;

3、等離子體材料表面清洗實(shí)驗(yàn);

4、等離子體聚合實(shí)驗(yàn)。

主要技術(shù)參數(shù)

1、等離子體腔體體積:φ140mm×(H)155mm;

2、射頻功率: 0 ~ 500W;頻率:13.560MH Z ;

3、工作氣壓: 20 ~ 200Pa(建議工作在 100 Pa 以下);

4、反應(yīng)腔本底真空: ≤ 5Pa;

5、反應(yīng)腔極限真空: 1×10 -1 Pa;

6、等離子體電子溫度: 1 ~ 8Ev;

7、流量控制器: 0 ~ 1000sccm;

8、工作電壓: AC220V±5% 50Hz;

9、整機(jī)功率: ≤ 1.5KW;

10、整機(jī)重量: 約 100Kg;

11、外形尺寸: 長(zhǎng) 650× 寬 610× 高 1000mm。


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